[实用新型]一种单晶硅单面抛光机用抛光机构有效
申请号: | 202021754868.8 | 申请日: | 2020-08-20 |
公开(公告)号: | CN213289859U | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 陈峰 | 申请(专利权)人: | 浙江众晶电子有限公司 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B41/06;B24B41/00;B24B55/00;B24B41/02 |
代理公司: | 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 | 代理人: | 钱磊 |
地址: | 324302 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶硅单面抛光机用抛光机构,包括底座、紧固结构、安装板、抛光轮、收集结构,所述底座的上端固定安装有紧固结构,所述紧固结构上端的一侧固定安装有安装板,所述安装板的底端固定安装有抛光轮,所述底座上端的一侧固定安装有收集结构。本实用新型,通过转动盘带动滑块转动,使得固定杆带动紧固块紧固单晶硅,且同时通过转动外壳上端,使得紧固块带动单晶硅进行转动,从而使得紧固块将单晶硅放置在传送板的表面,继而使得紧固块进行循环作业,继而提高了工作效率,通过电机带动转动杆转动,使得连接块带动收纳槽进行升降工作,从而使得收纳槽进行收纳工作,继而减少划伤硅片的现象,从而提高单晶硅片的质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 单面 抛光机 抛光 机构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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