[实用新型]一种单晶硅单面抛光机用抛光机构有效
申请号: | 202021754868.8 | 申请日: | 2020-08-20 |
公开(公告)号: | CN213289859U | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 陈峰 | 申请(专利权)人: | 浙江众晶电子有限公司 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B41/06;B24B41/00;B24B55/00;B24B41/02 |
代理公司: | 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 | 代理人: | 钱磊 |
地址: | 324302 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 单面 抛光机 抛光 机构 | ||
1.一种单晶硅单面抛光机用抛光机构,包括底座(1)、紧固结构(2)、安装板(3)、抛光轮(4)、收集结构(5),其特征在于:所述底座(1)的上端固定安装有紧固结构(2),所述紧固结构(2)上端的一侧固定安装有安装板(3),所述安装板(3)的底端固定安装有抛光轮(4),所述底座(1)上端的一侧固定安装有收集结构(5);
所述紧固结构(2)包括有外壳(201)、支撑杆(202)、转动盘(203)、旋转杆(204)、紧固杆(205)、滑块(206)、固定杆(207)、紧固块(208)、弹簧(209)、支撑板(210),所述底座(1)的上端固定安装有外壳(201),所述外壳(201)内部的中间位置处固定安装有支撑杆(202),所述支撑杆(202)外侧的上端活动安装有转动盘(203),所述外壳(201)的上端活动安装有旋转杆(204),所述外壳(201)的一侧固定安装有紧固杆(205),所述旋转杆(204)外侧靠近支撑杆(202)的一端活动安装有滑块(206),所述外壳(201)外端的一侧固定安装有固定杆(207),所述固定杆(207)的相对一端活动连接有紧固块(208),所述外壳(201)的内部固定安装有弹簧(209),所述弹簧(209)的一端固定安装有支撑板(210);
所述收集结构(5)包括有安装壳(501)、防水壳(502)、电机(503)、转动杆(504)、连接块(505)、转换齿(506)、收纳槽(507)、传送板(508),所述外壳(201)上端的一侧固定安装有安装壳(501),所述安装壳(501)的内部固定安装有防水壳(502),所述防水壳(502)的内部固定安装有电机(503),所述电机(503)的动力输出端固定安装有转动杆(504),所述转动杆(504)外侧的底端活动安装有连接块(505),所述转动杆(504)外侧的底端固定安装有转换齿(506),所述连接块(505)的一端固定安装有收纳槽(507),所述收纳槽(507)的一侧活动连接有传送板(508)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅单面抛光机用抛光机构,其特征在于:所述旋转杆(204)的一端固定安装有中心齿,且中心齿的表面传动连接在转动盘(203)的底端。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅单面抛光机用抛光机构,其特征在于:所述转动盘(203)的底端设置有与中心齿的相适配的凹槽,且转动盘(203)的表面设置有与滑块(206)相适配的滑槽。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅单面抛光机用抛光机构,其特征在于:所述紧固杆(205)的一端固定安装有紧固块(208),且紧固块(208)的表面设置有与固定杆(207)相适配的限定槽。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅单面抛光机用抛光机构,其特征在于:所述电机(503)的动力输出端传动连接在转换齿(506)的表面,且电机(503)的动力输出端设置有与转换齿(506)相适配的连接齿。
6.根据权利要求1所述的一种单晶硅单面抛光机用抛光机构,其特征在于:所述底座(1)上端的一侧设置有与收纳槽(507)相适配的凹槽,且收纳槽(507)通过连接块(505)活动连接在转动杆(504)的表面。
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