[实用新型]硅碎片清洗装置有效
申请号: | 202021728212.9 | 申请日: | 2020-08-18 |
公开(公告)号: | CN213728226U | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 裴乐扬;颜云峰;张占勇 | 申请(专利权)人: | 晶澳太阳能有限公司;晶澳太阳能越南有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67 |
代理公司: | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人: | 盛安平 |
地址: | 055550 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本公开涉及一种硅碎片清洗装置,包括:主体,所述主体设有第一容腔,第一容腔中设有进液口以及出液口;硅碎片收集结构,所述硅碎片收集结构放置于第一容腔中;其中,第一容腔设有用于供硅碎片收集结构通过的第一开口;所述硅碎片收集结构的底部为网栅结构;所述主体设有框架,框架位于第一容腔中,且框架与第一容腔的底壁之间存在间隙;所述第一容腔中还设有溢流口;所述主体的内壁设有超声波振板;主体内设有一个或多个从上往下依次布置的加热器。 | ||
搜索关键词: | 碎片 清洗 装置 | ||
【主权项】:
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