[实用新型]一种用于斜齿光栅纳米压印的装置有效
| 申请号： | 202021683435.8 | 申请日： | 2020-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN212781665U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 张琬皎;刘寅 | 申请（专利权）人： | 杭州欧光芯科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G02B5/18 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 311200 浙江省杭州市大江东产业*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于斜齿光栅纳米压印的装置。模版固定盘位于基板托盘上方，导轨水平布置且固定在上伺服电机下端的输出端上，模版固定盘顶面嵌装于导轨并可沿导轨移动，由上伺服电机带动导轨和模版固定盘沿靠近/远离基板托盘的方向移动；基板托盘底面固定在下伺服电机上端的输出端上，由下伺服电机带动基板托盘沿靠近/远离模版固定盘的方向移动；模版固定盘的两侧设有金属臂，两个金属臂一端分别连接到模版固定盘，另一端连接到压印腔体上。本实用新型能避免脱模过程对光栅结构的损坏，压印时压印胶的填充更完整，顺利脱模阻挡小，减少缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光栅 纳米 压印 装置 | ||
【主权项】：
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