[实用新型]扫描电镜扫描成像的演示装置和系统有效
| 申请号： | 202021680807.1 | 申请日： | 2020-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN213277140U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 杨振英;张伟;高尚;黄梦诗;马清;刘海涛;周彬;于洪涛 | 申请（专利权）人： | 深圳市美信检测技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G09B23/22 | 分类号： | G09B23/22 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 黄燕 |
| 地址： | 518108 广东省深圳市宝安区石*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种扫描电镜扫描成像的演示装置和系统，涉及扫描电子显微镜领域。该演示装置包括安装件、模拟样品和透光材料制成的光路模型，安装件开设有安装格，模拟样品设置于安装格内，光路模型安装于模拟样品的上方，光路模型包括用于演示电子束聚焦的上部光路和用于演示电子束偏转的下部光路，上部光路和下部光路固定连接。该演示装置不使用任何活动部件，直接将预先制造的光路模型安装在模拟样品的表面，可以直观的了解电子束的聚焦和偏转，进而能够实现直观地了解扫描电镜扫描成像的方法和原理。该演示系统能够清晰直观的演示扫描电镜扫描成像过程中大部分的部件以及部件之间的位置关系。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描电镜 扫描 成像 演示 装置 系统 | ||
【主权项】：
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