[实用新型]扫描电镜扫描成像的演示装置和系统有效

专利信息
申请号: 202021680807.1 申请日: 2020-08-11
公开(公告)号: CN213277140U 公开(公告)日: 2021-05-25
发明(设计)人: 杨振英;张伟;高尚;黄梦诗;马清;刘海涛;周彬;于洪涛 申请(专利权)人: 深圳市美信检测技术股份有限公司
主分类号: G09B23/22 分类号: G09B23/22
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 黄燕
地址: 518108 广东省深圳市宝安区石*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 扫描电镜 扫描 成像 演示 装置 系统
【权利要求书】:

1.一种扫描电镜扫描成像的演示装置,其特征在于,其包括安装件、模拟样品和透光材料制成的光路模型,所述安装件开设有安装格,所述模拟样品设置于所述安装格内,所述光路模型安装于所述模拟样品的上方,所述光路模型包括用于演示电子束聚焦的上部光路和用于演示电子束偏转的下部光路,所述上部光路和所述下部光路固定连接。

2.根据权利要求1所述的扫描电镜扫描成像的演示装置,其特征在于,所述上部光路具有发散端、聚焦始端和聚焦终端,所述发散端沿着远离所述光路模型的轴心线的方向向下且向外倾斜延伸至所述聚焦始端,所述聚焦始端沿着靠近所述光路模型的轴心线的方向向下且向内倾斜延伸至所述聚焦终端。

3.根据权利要求2所述的扫描电镜扫描成像的演示装置,其特征在于,所述下部光路沿着远离所述光路模型的轴心线的方向向下且向外倾斜延伸至所述模拟样品的表面。

4.根据权利要求2所述的扫描电镜扫描成像的演示装置,其特征在于,所述透光材料选自LED灯带、玻纤和塑料纤维中的一种。

5.根据权利要求2所述的扫描电镜扫描成像的演示装置,其特征在于,所述扫描电镜扫描成像的演示装置还包括发光部件,所述发光部件安装于所述安装格内且位于所述模拟样品的下方。

6.根据权利要求5所述的扫描电镜扫描成像的演示装置,其特征在于,所述发光部件为手电筒或LED灯。

7.根据权利要求5或6所述的扫描电镜扫描成像的演示装置,其特征在于,所述扫描电镜扫描成像的演示装置还包括用于控制所述发光部件开合的程控电路,所述程控电路与所述发光部件电连接。

8.根据权利要求5所述的扫描电镜扫描成像的演示装置,其特征在于,所述安装格、所述光路模型以及所述发光部件均为多个且一一对应。

9.根据权利要求1所述的扫描电镜扫描成像的演示装置,其特征在于,所述扫描电镜扫描成像的演示装置还包括用于容纳所述安装件、所述模拟样品和所述光路模型的透明演示仓。

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