[实用新型]一种硅片抛光机台的加工座

摘要

本实用新型公开了一种硅片抛光机台的加工座，涉及硅片加工领域，包括游星轮、第一载板、第二载板以及胶层，游星轮设有第一安装槽，一载板可分离地装嵌于第一安装槽；第一载板设有第二安装槽，并在第二安装槽的内部设有若干限位通孔，第二载板设有若干限位凸台，第二载板可分离地装嵌于第一载板，且若干限位凸台一一嵌设于若干限位通孔；第二载板的上端面贴设有所述胶层，并且所述胶层的上端面低于第二安装槽的开口。本实用新型的有益效果：本实用新型可以更好的固定放置硅片，防止抛光时硅片移位，保证硅片抛光的平整度，同时还便于从加工座上拆卸加工后的硅片，避免薄硅片受损，甚至破碎。