[实用新型]一种硅片抛光机台的加工座

权利要求书

1.一种硅片抛光机台的加工座，包括游星轮，其特征在于：包括第一载板、第二载板以及胶层，所述游星轮的上端面设有第一安装槽，所述第一载板可分离地装嵌于所述第一安装槽，第一载板的上端面高于游星轮的上端面，所述第一载板的上端面设有第二安装槽，并在第二安装槽的内部设有若干限位通孔，所述第二载板的下端面设有若干限位凸台，所述第二载板可分离地装嵌于所述第一载板，且若干限位凸台一一嵌设于若干限位通孔；第二载板的上端面贴设有所述胶层，并且所述胶层的上端面低于所述第二安装槽的开口，胶层的上端面和第二安装槽的内侧壁构成硅片槽。

2.根据权利要求1所述的一种硅片抛光机台的加工座，其特征在于：所述第一载板的外轮廓大致呈正方形，所述第二载板的外轮廓大致呈圆形。

3.根据权利要求2所述的一种硅片抛光机台的加工座，其特征在于：所述第一载板的下端面各边线位置处均设有一方便装卸第一载板的凹槽。

4.根据权利要求3所述的一种硅片抛光机台的加工座，其特征在于：所述游星轮的上端面在第一安装槽的各边线位置处均设有一与所述凹槽相对应的让位槽。

5.根据权利要求1所述的一种硅片抛光机台的加工座，其特征在于：所述第二载板的下端面呈环形均匀分布地设置有四个呈圆弧形的所述限位凸台。

6.根据权利要求1所述的一种硅片抛光机台的加工座，其特征在于：所述第一载板在第二安装槽周围的上端面铺设有柔性耐磨垫。

7.根据权利要求1所述的一种硅片抛光机台的加工座，其特征在于：所述游星轮、第一载板均为环氧树脂制品，所述第二载板为铁合金制品。