[实用新型]一种用于干法刻蚀图形化蓝宝石衬底的托盘结构

摘要

本实用新型公开了一种用于干法刻蚀图形化蓝宝石衬底的托盘结构，包括托盘和盖在托盘上的上盖；所述托盘上设置有一组与待加工晶片相适配的晶片定位凹槽，还设置有圆环，所述圆环的内圈上设置有与托盘相适配的台阶，所述托盘置于台阶上，且在圆环的内壁与托盘的外壁间设置有密封圈；所述托盘为碳化硅材料制得，所述上盖和圆环为铝材制得。本实用新型可无需借助摆片工装，即可实现快速装片，简化了生产操作流程，提升了生产效率，也降低晶片划伤的风险。且晶片下方无需放置密封圈，托盘下方无需设置通氦气的孔，可减少氦气泄露的发生，可广泛应用于LED衬底制造领域。