[实用新型]适用于真空环境加工的装置有效
| 申请号： | 202021596686.2 | 申请日： | 2020-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN212785880U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 王志海;邝斌;陈金良;齐鹏飞;赖新暖 | 申请（专利权）人： | 中山瑞科新能源有限公司 |
| 主分类号： | H05B1/00 | 分类号： | H05B1/00;C23C14/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 黄春燕 |
| 地址： | 528400 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于真空环境加工的装置，包括：壳体，所述壳体内具有工作腔；中间层，所述中间层设置于所述壳体内；调节组件，用于调节所述中间层的导热系数。通过调节组件调节中间层的导热系数，当需要中间层进行隔热保温时，将中间层的导热系数调低，此时中间层可以起到隔热保温的作用，当需要中间层进行快速冷却时，将中间层的导热系数调高，此时中间层可以快速与周边进行热交换，实现快速冷却的目的，可见上述任一实施例既具备隔热保温的性能，又具有快速冷却的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 真空 环境 加工 装置 | ||
【主权项】：
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