[实用新型]适用于真空环境加工的装置

说明书

本实用新型公开了一种适用于真空环境加工的装置，包括：壳体，所述壳体内具有工作腔；中间层，所述中间层设置于所述壳体内；调节组件，用于调节所述中间层的导热系数。通过调节组件调节中间层的导热系数，当需要中间层进行隔热保温时，将中间层的导热系数调低，此时中间层可以起到隔热保温的作用，当需要中间层进行快速冷却时，将中间层的导热系数调高，此时中间层可以快速与周边进行热交换，实现快速冷却的目的，可见上述任一实施例既具备隔热保温的性能，又具有快速冷却的性能。

技术领域

本实用新型涉及加工设备技术领域，特别涉及一种适用于真空环境加工的装置。

背景技术

真空生产工艺是一种重要的现代生产工艺，加热是真空生产工艺的重要组成部分，例如对工件的加热、热蒸镀工艺中对镀膜材料的加热等。热传递主要有三种途径：热辐射、热传导和热对流，真空环境下不接触的零部件热传递的途径主要是热辐射，为了减少加热设备的热损失、提高热利用率，目前，通常在安装加热器的腔体壁安装隔热板减少加热器对腔体壁的热辐射。但是，这种隔热板方式的保温措施使真空设备在真空环境下的冷却速度非常慢，有些特殊的真空设备必须在一定温度下才能充气开腔进行下一次的生产准备工作，这样，产生了隔热保温和加速冷却的矛盾。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种适用于真空环境加工的装置，其既具备隔热保温的性能，又具有快速冷却的性能。

根据本实用新型的一方面实施例的，一种适用于真空环境加工的装置，包括：壳体，所述壳体内具有工作腔；中间层，所述中间层设置于所述壳体内；调节组件，用于调节所述中间层的导热系数。

根据本实用新型的一些实施例，所述中间层内部设置有通道；所述调节组件包括真空获得装置、输送流体装置，所述真空获得装置与所述通道连通，所述真空获得装置和所述通道之间设置有第一阀门；所述输送流体装置与所述通道连通，所述输送流体装置与所述通道之间设置有第二阀门。

根据本实用新型的一些实施例，输送流体装置输送的是气体或者液体。

根据本实用新型的一些实施例，所述中间层包括主体、连接头组件，所述主体包括呈蛇形的管路，所述管路的两端与所述连接头组件连接。

根据本实用新型的一些实施例，所述连接头组件包括法兰、第一管道接头及密封圈，所述管路的两端设置有第一连接部，所述法兰一侧与所述第一连接部连接，所述第一管道接头设置有第二连接部，所述第二连接部与所述法兰另一侧连接，所述法兰与所述第二连接部、所述法兰与所述第一连接部之间设置有密封圈。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一连接部上设置有第一环形槽，所述壳体设置有第二环形槽，所述法兰一侧设置有第三环形槽和第四环形槽，所述第一环形槽与所述第三环形槽配合，所述第二环形槽与所述第四环形槽配合，所述法兰另一侧设置有第五环形槽，所述第二连接部上设置有第六环形槽，所述密封圈设置在所述第一环形槽与所述第三环形槽之间、第二环形槽与所述第四环形槽之间、第五环形槽和第六环形槽之间。

根据本实用新型的一些实施例，所述中间层还包括安装件，所述主体的侧部与所述安装件连接，所述安装件上设置有通孔。

根据本实用新型的一些实施例，所述安装件通过螺栓或者卡扣结构安装在所述壳体内。

根据本实用新型实施例，至少具有如下有益效果：通过调节组件调节中间层的导热系数，当需要中间层进行隔热保温时，将中间层的导热系数调低(真空获得装置对中间层进行抽真空)，此时中间层可以起到隔热保温的作用；当需要中间层进行快速冷却时，将中间层的导热系数调高(流体输送装置向中间层通道内输送流通的冷媒介质)，此时中间层可以快速与周边进行热交换，实现快速冷却的目的，可见上述任一实施例既具备隔热保温的性能，又具有快速冷却的性能。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。