[实用新型]一种晶圆的防破片真空包装机

摘要

本实用新型公开了一种晶圆的防破片真空包装机，包括左侧架和右侧架，所述左侧架和右侧架的顶部均连接有支撑台，且左侧架和右侧架通过横板连接，所述横板位于支撑台的下方，所述支撑台与横板之间通过顶架连接，所述横板的顶部连接有底座，且底座的顶部安装有真空吸泵，所述真空吸泵的一端连通有连接管道。该晶圆的防破片真空包装机，当袋内空气变少，抽力受阻，抽力会自动分配到开启的旁通阀体，防止盒子形变，当旁通阀体开启，真空吸嘴抽力小于盒子承压能力，只能将袋子与盒体之间的空气抽走，不会将盒子内的空气抽走，避免盒子形变导致破片，在这样的方式下，还能确保每一个包装内真空度一致，袋子松紧度一致。