[实用新型]一种晶圆的防破片真空包装机

说明书

本实用新型公开了一种晶圆的防破片真空包装机，包括左侧架和右侧架，所述左侧架和右侧架的顶部均连接有支撑台，且左侧架和右侧架通过横板连接，所述横板位于支撑台的下方，所述支撑台与横板之间通过顶架连接，所述横板的顶部连接有底座，且底座的顶部安装有真空吸泵，所述真空吸泵的一端连通有连接管道。该晶圆的防破片真空包装机，当袋内空气变少，抽力受阻，抽力会自动分配到开启的旁通阀体，防止盒子形变，当旁通阀体开启，真空吸嘴抽力小于盒子承压能力，只能将袋子与盒体之间的空气抽走，不会将盒子内的空气抽走，避免盒子形变导致破片，在这样的方式下，还能确保每一个包装内真空度一致，袋子松紧度一致。

技术领域

本实用新型涉及晶圆包装机技术领域，具体为一种晶圆的防破片真空包装机。

背景技术

晶圆生产出来后，出货时，先将晶圆放入晶圆盒内，再将晶圆盒放入屏蔽袋或铝箔袋内进行真空包装。

但是，传统的包装设备运行时，由于放置减薄片的盒子是不密封的，而且抗压性不足，在真空包装的过程中，盒子内的空气被抽走，受大气挤压导致盒体形变，极易导致盒内减薄片破损。并且，由于减薄片的敏感性，如果不抽真空或者降低包装真空度，袋内空气会导致减薄片氧化，同时空气内的水分会影响减薄片的品质，导致产品报废。为此需要设计一种晶圆的防破片真空包装机，以便于解决上述中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆的防破片真空包装机，以解决上述背景技术提出的目前市场上传统的包装设备运行时，由于放置减薄片的盒子是不密封的，而且抗压性不足，在真空包装的过程中，盒子内的空气被抽走，受大气挤压导致盒体形变，极易导致盒内减薄片破损。并且，由于减薄片的敏感性，如果不抽真空或者降低包装真空度，袋内空气会导致减薄片氧化，同时空气内的水分会影响减薄片的品质，导致产品报废的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆的防破片真空包装机，包括左侧架和右侧架，所述左侧架和右侧架的顶部均连接有支撑台，且左侧架和右侧架通过横板连接，所述横板位于支撑台的下方，所述支撑台与横板之间通过顶架连接，所述横板的顶部连接有底座，且底座的顶部安装有真空吸泵，所述真空吸泵的一端连通有连接管道，且连接管道远离真空吸泵的一端连通有真空吸嘴，所述连接管道的表面连通有旁通管道，且旁通管道的表面设有旁通阀体，所述旁通管道远离连接管道的一端呈开口状，所述支撑台的顶部设有包装机构，防护板的顶部连接有操控台，所述支撑台的底部安装有输送装置，所述支撑台的一侧连接有凸起，所述凸起为橡塑凸状。

优选的，所述左侧架和右侧架的背面均连接有延伸架，所述延伸架底部的后侧连接有竖架，所述竖架的底部连接有支腿。

优选的，所述支撑台的底部连接有斜杆，所述斜杆的另一端与横板的顶部连接，且斜杆倾斜设置。

优选的，所述支撑台、横板和斜杆构成防护机构，且真空吸泵位于防护机构的内部。

优选的，所述横板的底部连接有护具，且护具的底部活动安装有万向轮，所述万向轮的数量为四个，且四个万向轮分别位于横板底部的四角。

优选的，所述防护板的一端通过锁栓与支撑台的一侧活动安装，所述左侧架通过锁栓与横板活动安装，所述锁栓的数量为四个，且四个锁栓呈矩形排列。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)该晶圆的防破片真空包装机，刚开始真空抽气时，旁通阀体处于关闭状态，当真空抽气进度达到预设时间，旁通阀体开启，让真空吸泵同时抽袋内气体和外部大气，从而防止出现过抽的情况，安全可靠。

(2)该晶圆的防破片真空包装机，当袋内空气变少，抽力受阻，抽力会自动分配到开启的旁通阀体，防止盒子形变，当旁通阀体开启，真空吸嘴抽力小于盒子承压能力，只能将袋子与盒体之间的空气抽走，不会将盒子内的空气抽走，避免盒子形变导致破片，在这样的方式下，还能确保每一个包装内真空度一致，袋子松紧度一致。

附图说明