[实用新型]静电吸盘移除工具有效
| 申请号： | 202021526396.0 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN212740376U | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 黄禅文 | 申请（专利权）人： | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
| 主分类号： | B66C1/02 | 分类号： | B66C1/02;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 刘曾 |
| 地址： | 250000 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种静电吸盘移除工具，涉及半导体设备技术领域，该静电吸盘移除工具包括固定安装架、设置在所述固定安装架上的提升杆以及与所述提升杆连接的吸盘固定架，所述提升杆的延伸方向与所述吸盘固定架的重心相重合，所述固定安装架上开设有导向孔，所述提升杆装配在所述导向孔中，所述吸盘固定架用于对称连接在静电吸盘上。螺杆的延伸方向与吸盘固定架的重心相重合，使得螺杆施加在吸盘固定架上的力均匀分布，进而使得吸盘固定架施加在静电吸盘上的力均匀分布，从而保证了在移除过程中静电吸盘受力均匀，避免吸盘底部的零部件在移除过程中受到损坏，保证静电吸盘的安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 吸盘 工具 | ||
【主权项】：
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