[实用新型]静电吸盘移除工具

说明书

一种静电吸盘移除工具，涉及半导体设备技术领域，该静电吸盘移除工具包括固定安装架、设置在所述固定安装架上的提升杆以及与所述提升杆连接的吸盘固定架，所述提升杆的延伸方向与所述吸盘固定架的重心相重合，所述固定安装架上开设有导向孔，所述提升杆装配在所述导向孔中，所述吸盘固定架用于对称连接在静电吸盘上。螺杆的延伸方向与吸盘固定架的重心相重合，使得螺杆施加在吸盘固定架上的力均匀分布，进而使得吸盘固定架施加在静电吸盘上的力均匀分布，从而保证了在移除过程中静电吸盘受力均匀，避免吸盘底部的零部件在移除过程中受到损坏，保证静电吸盘的安全可靠。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体而言，涉及一种静电吸盘移除工具。

背景技术

在半导体刻蚀机台等半导体设备中，静电吸盘(ESC)为晶片吸附和工艺反应的重要工具之一，当ESC经过长时间使用，或者有电压/刻蚀率问题需要进行替换送修时，需要将静电吸盘拆开、移除。

在现有技术中，由于没有专门针对静电吸盘的吊具可搭配治具使用，在移除静电吸盘时只能安装提升治具后徒手垂直拉起，进行后续更换和送修。由于采用了徒手施力，手动施力方向无法保证在经过长时间处于真空的静电吸盘在分离时两边作用力受力均匀，而由于静电吸盘的底部与承载盘之间的装配零部件多是沿竖直方向装配，在提升静电吸盘时，静电吸盘受力不均则会导致静电吸盘倾斜，使得静电吸盘底部会与零部件相接触，从而容易导致吸盘底部的零部件在拉起过程中受敲击毁损。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种静电吸盘移除工具，其能够保证在移除过程中静电吸盘受力均匀，避免吸盘底部的零部件在移除过程中受到损坏，保证静电吸盘的安全可靠。

本实用新型的实施例是这样实现的：

第一方面，本实用新型实施例提供一种静电吸盘移除工具，包括固定安装架、设置在所述固定安装架上的提升杆以及与所述提升杆连接的吸盘固定架，所述提升杆的延伸方向与所述吸盘固定架的重心相重合，所述固定安装架上开设有导向孔，所述提升杆装配在所述导向孔中，所述吸盘固定架用于对称连接在静电吸盘上。

进一步地，所述提升杆为螺杆，所述导向孔为螺孔，所述螺杆装配在所述螺孔中。

进一步地，所述承载杆的中部开设有承接口，所述承接口中设置有承接轴承，所述承接轴承的外圈与所述承接口的内壁固定，所述承接轴承的内圈与所述螺杆的底端装配，所述螺杆通过所述承接轴承与所述承载杆转动连接。

进一步地，所述吸盘固定架包括承载杆和对称设置在所述承载杆两端的吸盘连接杆，所述吸盘连接杆用于可拆卸地连接所述静电吸盘，所述提升杆与所述承载杆的中部连接。

进一步地，所述吸盘连接杆上设置有连接螺钉，所述连接螺钉用于装配在所述静电吸盘上。

进一步地，所述吸盘连接杆上用于与所述静电吸盘相接触的表面镀有防锈层。

进一步地，所述提升杆的延伸方向与所述承载杆的延伸方向相垂直，所述吸盘连接杆的延伸方向与所述提升杆的延伸方向相平行，以使所述吸盘连接杆和所述承载杆之间形成直角结构。

进一步地，所述提升杆的顶端设置有把手帽，所述把手帽的直径大于所述导向孔的直径。

进一步地，所述固定安装架包括支撑架体和多个固定支杆，多个所述固定支杆设置在所述吸盘固定架的四周，且多个所述固定支杆的顶端位于同一水平面上，所述支撑架体与多个所述固定支杆的顶端连接，所述导向孔开设在所述支撑架体上。

进一步地，所述支撑架体为三角支架，且所述固定支杆的数量为三个，三个所述固定支杆呈等边三角形设置，所述支撑架体分别与三个所述固定支杆的顶端连接。

本实用新型实施例的有益效果包括：