[实用新型]一种用于碱金属原子气室抗弛豫镀膜的均匀加热装置有效

专利信息
申请号: 202021445704.7 申请日: 2020-07-21
公开(公告)号: CN212560431U 公开(公告)日: 2021-02-19
发明(设计)人: 林强;陈军;严勇;李德钊;李衎;张桂迎 申请(专利权)人: 浙江工业大学
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455;C23C16/02
代理公司: 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 代理人: 朱亚冠
地址: 310014 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种用于碱金属原子气室抗弛豫镀膜的均匀加热装置。现有装置很难保证气室所在环境中温度均一性。本实用新型包括支架、翻转机构和传动机构。翻转机构包括外环翻转机构和内环翻转机构。外环翻转机构的外翻转环通过翻转电机带动翻转。翻转电机通过绕动直齿轮、锥形齿轮组带动内环翻转机构的内翻转环相对外翻转环进行翻转。翻转电机带动绕动直齿轮自转,绕动直齿轮沿固定直齿轮边沿公转。使用中将碱金属原子气室固定安装在内翻转环上,整体结构置于加热炉中。本实用新型通过两次齿轮连接,保证内外的两个翻转环相互垂直交错翻转,可以在镀膜气室加热时候提供均匀受热的环境,实现抗弛豫膜的均匀涂覆,保证碱金属原子气室的成膜质量。
搜索关键词: 一种 用于 碱金属 原子 气室抗弛豫 镀膜 均匀 加热 装置
【主权项】:
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