[实用新型]一种用于碱金属原子气室抗弛豫镀膜的均匀加热装置有效
| 申请号: | 202021445704.7 | 申请日: | 2020-07-21 |
| 公开(公告)号: | CN212560431U | 公开(公告)日: | 2021-02-19 |
| 发明(设计)人: | 林强;陈军;严勇;李德钊;李衎;张桂迎 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
| 主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C23C16/02 |
| 代理公司: | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人: | 朱亚冠 |
| 地址: | 310014 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种用于碱金属原子气室抗弛豫镀膜的均匀加热装置。现有装置很难保证气室所在环境中温度均一性。本实用新型包括支架、翻转机构和传动机构。翻转机构包括外环翻转机构和内环翻转机构。外环翻转机构的外翻转环通过翻转电机带动翻转。翻转电机通过绕动直齿轮、锥形齿轮组带动内环翻转机构的内翻转环相对外翻转环进行翻转。翻转电机带动绕动直齿轮自转,绕动直齿轮沿固定直齿轮边沿公转。使用中将碱金属原子气室固定安装在内翻转环上,整体结构置于加热炉中。本实用新型通过两次齿轮连接,保证内外的两个翻转环相互垂直交错翻转,可以在镀膜气室加热时候提供均匀受热的环境,实现抗弛豫膜的均匀涂覆,保证碱金属原子气室的成膜质量。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 用于 碱金属 原子 气室抗弛豫 镀膜 均匀 加热 装置 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





