[实用新型]一种用于碱金属原子气室抗弛豫镀膜的均匀加热装置有效
| 申请号: | 202021445704.7 | 申请日: | 2020-07-21 |
| 公开(公告)号: | CN212560431U | 公开(公告)日: | 2021-02-19 |
| 发明(设计)人: | 林强;陈军;严勇;李德钊;李衎;张桂迎 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
| 主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C23C16/02 |
| 代理公司: | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人: | 朱亚冠 |
| 地址: | 310014 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 碱金属 原子 气室抗弛豫 镀膜 均匀 加热 装置 | ||
1.一种用于碱金属原子气室抗弛豫镀膜的均匀加热装置,包括支架、翻转机构和传动机构,其特征在于:
所述的支架包括底座(1)和两根垂直底座设置的支杆(2),两根支杆(2)上在同一水平面上分别设有带有穿孔的转轴座(3);
所述的翻转机构包括外环翻转机构和内环翻转机构;
所述的外环翻转机构包括翻转电机(4)和外翻转环(5),外翻转环(5)的外壁对称设置两个外翻转轴(6),两个外翻转轴(6)穿过转轴座(3)设置,设置在支架上的翻转电机(4)的动力输出端与其中一个外翻转轴连接;
所述的内环翻转机构包括内翻转环(7)和内翻转轴(8),内翻转环(7)与外翻转环(5)同心设置,两个内翻转轴(8)对称设置在内翻转环(7)外壁,并穿过外翻转环(5);内翻转环(7)内壁固定设置有碱金属原子气室固定支架(9);
所述的传动机构包括固定直齿轮(10)、绕动直齿轮(11)和锥形齿轮组(12);
所述的绕动直齿轮(11)的中心轴与翻转电机(4)的动力输出端通过皮带(13)连接,翻转电机(4)的动力输出轴穿过固定直齿轮(10)的中心开孔,连杆(14)的两端分别与绕动直齿轮(11)的中心轴和外翻转环的外翻转轴(6)活动连接,绕动直齿轮(11)与固定直齿轮(10)啮合;翻转电机(4)通过皮带(13)带动绕动直齿轮(11)自转,同时绕动直齿轮(11)沿固定直齿轮(10)边沿公转;
所述的锥形齿轮组(12)包括相啮合的主动锥形齿轮(12-1)和从动锥形齿轮(12-2),主动锥形齿轮(12-1)与绕动直齿轮(11)同轴联动,从动锥形齿轮(12-2)穿过外翻转环壁与一个内翻转轴连接。
2.如权利要求1所述的一种用于碱金属原子气室抗弛豫镀膜的均匀加热装置,其特征在于:所述的翻转电机(4)带动外翻转环(5)翻转,两个外翻转轴(6)所在直线为即外翻转环(5)的翻转中心轴线;内翻转环(7)相对外翻转环(5)平面翻转,两个内翻转轴(8)所在直线为即内翻转环(7)的翻转中心轴线,内翻转环翻转中心轴线与外翻转环翻转中心轴线垂直。
3.如权利要求1所述的一种用于碱金属原子气室抗弛豫镀膜的均匀加热装置,其特征在于:所述的固定直齿轮(10)固定设置,其中心轴线为外翻转环(5)的翻转中心轴线。
4.如权利要求1所述的一种用于碱金属原子气室抗弛豫镀膜的均匀加热装置,其特征在于:所述的翻转电机(4)带动绕动直齿轮(11)与主动锥形齿轮(12-1)同步转动,带动从动锥形齿轮(12-2)在垂直平面转动,从动锥形齿轮(12-2)带动内翻转环(7)翻转。
5.如权利要求1所述的一种用于碱金属原子气室抗弛豫镀膜的均匀加热装置,其特征在于:所述的锥形齿轮组(12)设置在齿轮箱(15)内,翻转电机(4)同时带动外翻转环(5)翻转,外翻转环(5)翻转时,通过连杆(14)的限位,绕动直齿轮(11)沿固定直齿轮(10)边沿移位,使齿轮箱(15)和锥形齿轮组(12)跟随外翻转环(5)同步翻转。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江工业大学,未经浙江工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202021445704.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的





