[实用新型]一种全自动双面曝光机有效
| 申请号： | 202021432553.1 | 申请日： | 2020-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN212623568U | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 钱志斌;胥涛棚;张雷;李伟成 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种全自动双面曝光机，其包括上料装置、下料装置，其还包括第一台面、第二台面、至少一个转移搬运组件和翻转搬运组件，位于所述第一台面和第二台面之间的曝光系统，所述第一台面和所述第二台面在所述曝光系统的两侧分别移动至所述曝光系统进行曝光操作，所述转移搬运组件和所述翻转搬运组件通过支架固定安装。本实用新型采用双台面，共用一个曝光系统，配合翻转搬运组件和转移搬运组件，对双台面分别进行对位曝光，两个台面可以分别对基件的两个曝光面进行对位曝光，互不干扰，曝光效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 双面 曝光 | ||
【主权项】：
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