[实用新型]一种全自动双面曝光机有效
| 申请号: | 202021432553.1 | 申请日: | 2020-07-20 |
| 公开(公告)号: | CN212623568U | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
| 发明(设计)人: | 钱志斌;胥涛棚;张雷;李伟成 | 申请(专利权)人: | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 全自动 双面 曝光 | ||
1.一种全自动双面曝光机,其包括上料装置、下料装置,其特征在于,其还包括第一台面、第二台面、至少一个转移搬运组件和翻转搬运组件,位于所述第一台面和第二台面之间的曝光系统,所述第一台面和所述第二台面在所述曝光系统的两侧分别移动至所述曝光系统进行曝光操作,所述转移搬运组件和所述翻转搬运组件通过支架固定安装。
2.根据权利要求1所述的全自动双面曝光机,其特征在于:所述全自动双面曝光机还包括顶部输送组件,所述顶部输送组件设置于所述曝光系统的上方,用于在所述第一台面和所述第二台面之间输送基件。
3.根据权利要求2所述的全自动双面曝光机,其特征在于:所述顶部输送组件还包括清洁装置。
4.根据权利要求2所述的全自动双面曝光机,其特征在于:所述顶部输送组件靠近所述第二台面侧包括定位装置。
5.根据权利要求1-4任一所述的全自动双面曝光机,其特征在于:所述第一台面侧具有翻转搬运组件和转移搬运组件,所述翻转搬运组件负责搬运上料装置上的待曝光基件,以及将第一面曝光完成的基件自第一台面移出并翻转;所述转移搬运组件自所述翻转搬运组件移出所述第一面曝光完成的基件。
6.根据权利要求1-4任一所述的全自动双面曝光机,其特征在于:所述第二台面侧具有第二转移搬运组件,用于移动第一面曝光完成的基件至第二台面,以及移动双面曝光完成的基件至下料装置。
7.根据权利要求1所述的全自动双面曝光机,其特征在于:所述第二台面侧具有第二翻转搬运组件,用于第二台面的上下料。
8.根据权利要求1所述的全自动双面曝光机,其特征在于:所述支架横跨所述全自动双面曝光机,分别设置于第一台面侧和第二台面侧。
9.根据权利要求1或8所述的全自动双面曝光机,其特征在于:所述支架包括位于两端的竖向滑轨和位于中间位置的竖向滑轨,所述翻转搬运组件沿所述两端的竖向滑轨竖向滑动,所述转移搬运组件沿中间位置的竖向滑轨竖向滑动。
10.根据权利要求1或8所述的全自动双面曝光机,其特征在于:所述支架包括位于中间位置的竖向滑轨,所述转移搬运组件沿中间位置的竖向滑轨竖向滑动。
11.根据权利要求1所述全自动双面曝光机,其特征在于:所述翻转搬运组件包括纵向移动的延伸部,连接延伸部横向转轴,通过固定件固定于转轴上的歧管,所述歧管在所述固定件两端相对设置,歧管上设有多个吸附件。
12.根据权利要求1所述全自动双面曝光机,其特征在于:所述翻转搬运组件包括延伸部,连接延伸部的横向转轴,通过固定件固定于横向转轴上的歧管,所述歧管在所述固定件两端相对设置,歧管上设有多个吸附件。
13.根据权利要求11或12所述的全自动双面曝光机,其特征在于:所述延伸部位于所述横向转轴的两端,夹持所述横向转轴。
14.根据权利要求11或12所述的全自动双面曝光机,其特征在于:所述固定件包括至少一个滑块,所述至少一个滑块能够相对所述转轴滑动。
15.根据权利要求11或12所述的全自动双面曝光机,其特征在于:所述吸附件在歧管的两侧错位设置。
16.根据权利要求1所述的全自动双面曝光机,其特征在于:所述支架与所述转移搬运组件和翻转搬运组件对应设置,所述支架包括相对设置的竖向支架,所述竖向支架滑动设置于支撑所述支架的框架,带动所述转移搬运组件和所述翻转搬运组件纵向滑动。
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