[实用新型]一种加压式化学沉积炉

摘要

本实用新型属于沉积炉气压调节领域，尤其是一种加压式化学沉积炉，针对现有的其炉体缺少手动减压的装置，不能对炉体内的气压进行调节的问题，现提出如下方案，其包括炉体，所述炉体的一侧上固定安装有减压仓，减压仓的顶部固定安装有减压管,所述减压管内滑动安装有活塞，活塞的一端延伸进减压管内且固定安装有密封圈，另一端固定安装有按压板，所述减压管远离炉体的一侧内壁顶部开设有滑孔，本实用新型结构简单，使用方便，提高了炉体降压的速度，同时提高了减压过程的稳定性，满足了人们的使用需求。