[实用新型]一种加压式化学沉积炉

权利要求书

1.一种加压式化学沉积炉，包括炉体（1），其特征在于，所述炉体（1）的一侧上固定安装有减压仓（2），减压仓（2）的顶部固定安装有减压管（3）,所述减压管（3）内滑动安装有活塞（4），活塞（4）的一端延伸进减压管（3）内且固定安装有密封圈（7），另一端固定安装有按压板（5），所述减压管（3）远离炉体（1）的一侧内壁顶部开设有滑孔（12），按压板（5）与滑孔（12）相适配。

2.根据权利要求1所述的一种加压式化学沉积炉，其特征在于，所述减压管（3）远离炉体（1）的一侧内壁上开设有弹簧槽（8），弹簧槽（8）的底部内壁上固定安装有复位弹簧（10），所述减压管（3）靠近炉体（1）的一侧内壁上L型滑槽（16），L型滑槽（16）内滑动安装有L型杆（21），L型杆（21）的一端延伸进减压管（3）内且与活塞（4）相连接，所述减压管（3）上开设有滑动气槽（14），滑动气槽（14）靠近滑孔（12）的一侧内壁上开设有气孔（15）。

3.根据权利要求2所述的一种加压式化学沉积炉，其特征在于，所述滑动气槽（14）靠近L型滑槽（16）的一侧内壁上开设有转动孔（13），转动孔（13）内转动安装有转动齿轮（17）。

4.根据权利要求2所述的一种加压式化学沉积炉，其特征在于，所述L型杆（21）靠近转动孔（13）的一侧固定安装有齿条（11），齿条（11）与转动齿轮（17）啮合，所述滑动气槽（14）内滑动安装有密封板（18），密封板（18）靠近转动孔（13）的一侧开设有齿槽（19）且齿槽（19）与转动齿轮（17）啮合。

5.根据权利要求4所述的一种加压式化学沉积炉，其特征在于，所述密封板（18）上开设有排气孔（20），排气孔（20）与气孔（15）相适配。

6.根据权利要求1所述的一种加压式化学沉积炉，其特征在于，所述活塞（4）上开设有排气槽（6），排气槽（6）与气孔（15）和排气孔（20）均相适配，活塞（4）靠近弹簧槽（8）的一侧固定安装有定位块（9），定位块（9）延伸进弹簧槽（8）内且与复位弹簧（10）相连接。