[实用新型]一种等离子清洗机推头有效
| 申请号： | 202021356290.0 | 申请日： | 2020-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN212760129U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 郭峰;刘向东;彭小巧;王宇;国际瑞 | 申请（专利权）人： | 昆山普乐斯电子科技有限公司;苏州优维毕光电科技有限公司;苏州艾斯林自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215316 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种等离子清洗机推头，属于半导体加工技术领域；其包括推料导向板以及设置在导向板前方的推块，所述推块上设有卡料豁口，所述推料导向上设有弯曲的加强槽，所述加强槽的延伸方向与推料方向平行；本实用新型提供了一种等离子清洗机推头，能够保证结构强度，减少推料卡死和空载，提高运行稳定性，使用更方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 清洗 推头 | ||
【主权项】：
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