[实用新型]一种等离子清洗机推头有效

专利信息
申请号: 202021356290.0 申请日: 2020-07-10
公开(公告)号: CN212760129U 公开(公告)日: 2021-03-23
发明(设计)人: 郭峰;刘向东;彭小巧;王宇;国际瑞 申请(专利权)人: 昆山普乐斯电子科技有限公司;苏州优维毕光电科技有限公司;苏州艾斯林自动化科技有限公司
主分类号: B08B7/00 分类号: B08B7/00;B08B13/00;H01L21/67
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 215316 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 等离子 清洗 推头
【说明书】:

实用新型涉及一种等离子清洗机推头,属于半导体加工技术领域;其包括推料导向板以及设置在导向板前方的推块,所述推块上设有卡料豁口,所述推料导向上设有弯曲的加强槽,所述加强槽的延伸方向与推料方向平行;本实用新型提供了一种等离子清洗机推头,能够保证结构强度,减少推料卡死和空载,提高运行稳定性,使用更方便。

技术领域

本实用新型涉及一种等离子清洗机推头,属于半导体加工技术领域。

背景技术

等离子清洗机用于等离子清洗机常用于半导体领域,可对引线框架、PCB板、晶圆、陶瓷等材料进行清洗,等离子清洗机内设有推头将物料从料盒内推送清洗工位内进行清洗,现有的清洗推头为板状,结构强度一般,容易在推料时弯曲变形导致推料卡死,而且由于端部与物料接触区域小,推料时容易错开物料而造成空载。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足,提供一种等离子清洗机推头,能够保证结构强度,减少推料卡死和空载,提高运行稳定性,使用更方便。

为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:

一种等离子清洗机推头,其包括推料导向板以及设置在导向板前方的推块,所述推块上设有卡料豁口,所述推料导向上设有加强槽,所述加强槽的延伸方向与推料方向平行。

进一步地,所述推块为多个与推料导向板可拆连接且推料导向板所在平面经过卡料豁口。

进一步地,所述推料导向板相邻的两棱边经倒角过渡连接。

进一步地,所述卡料豁口呈梯形设置且前端的竖向距离大于后端的竖向距离。

进一步地,所述推块的厚度小于相邻的两个物料之间的竖向距离,所述卡料豁口后端的竖向距离大于物料的厚度。

进一步地,所述推料导向板上设有减重孔。

与现有技术相比,本实用新型所达到的有益效果:

本技术方案的推料导向板上设有加强槽能够增强推头的结构强度,减少形变发生,确保使用稳定性;

本技术方案在推料导向板前端设有推块且与推料导向板可拆连接,可以按照实际物料的形状、尺寸,按需选择合适的推块,并设置推块的数量、距离等参数,适用性更强;

本技术方案的推块设有梯形的推料豁口,能够更好地对接卡设物料,减少与物料的对接误差,避免空载发生;

本技术方案的推料导向板四周均做倒角处理,能够更好地对接料盒,方便在料盒内滑动,减少卡死;

本技术方案设有减重孔,能够在保证推料导向板沿着推料方向的结构强度的同时减轻整个推头的重量,提高推料的驱动效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种等离子清洗机推头的立体结构示意图;

图2是本实用新型实施例提供的一种等离子清洗机推头的局部结构俯视示意图;

图3是本实用新型实施例提供的一种等离子清洗机推头的推块的侧视结构示意图。

标号说明:1-推料导向板、2-推块、3-卡料豁口、4-加强槽、5-倒角、6-减重孔。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案,而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

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