[实用新型]一种用于硅片制造的研磨装置

摘要

本实用新型涉及硅片制造技术领域，具体为一种用于硅片制造的研磨装置，包括主体，所述主体的上端设置有支撑杆，且支撑杆的左右两端设置有齿牙，所述主体的左右两端开设有孔洞，且孔洞内固定安装有固定轴，所述固定轴的上端开设有孔洞，且孔洞内插设有固定杆，所述固定轴的右端设置有第一齿轮，且第一齿轮共设置有两组，两组所述第一齿轮与支撑杆左右两端的齿牙相适配。本实用新型通过第一电机和第二齿轮的设置，使得第一转杆带动上磨块进行顺向进行旋转运动，同时通过第四齿轮和第五齿轮的设置，使得第二转杆带动下磨块进行逆向运动，增加研磨接触面，提高研磨的效果和研磨质量。