[实用新型]具有整束喷嘴的马兰戈尼干燥装置有效
| 申请号： | 202021349240.X | 申请日： | 2020-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN211503561U | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 李长坤;赵德文;曹自立;路新春 | 申请（专利权）人： | 清华大学;华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B11/18 | 分类号： | F26B11/18;F26B21/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，公开了一种具有整束喷嘴的马兰戈尼干燥装置，包括：用于旋转晶圆的驱动机构、用于输送流体的供给臂以及箱体；所述供给臂可沿晶圆平面摆动并经由设置于其自由端处的喷嘴将干燥气体供应至晶圆上；所述喷嘴形成为：包括设于所述喷嘴内部的用于气体流通的腔室，所述腔室贯通位于所述喷嘴两端的进气口和出气口，所述腔室包括窄径腔、第一过渡腔和宽径腔，所述第一过渡腔连接在窄径腔和宽径腔之间以实现贯通，所述第一过渡腔的内径沿进气口至出气口的方向逐渐增大以对整束流经所述喷嘴的气体并使其减速。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 喷嘴 马兰 干燥 装置 | ||
【主权项】：
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