[实用新型]具有整束喷嘴的马兰戈尼干燥装置

权利要求书

1.一种具有整束喷嘴的马兰戈尼干燥装置，其特征在于，包括：用于旋转晶圆的驱动机构、用于输送流体的供给臂以及箱体；所述供给臂可沿晶圆平面摆动并经由设置于其自由端处的喷嘴将干燥气体供应至晶圆上；所述喷嘴形成为：包括设于所述喷嘴内部的用于气体流通的腔室，所述腔室贯通位于所述喷嘴两端的进气口和出气口，所述腔室包括窄径腔、第一过渡腔和宽径腔，所述第一过渡腔连接在窄径腔和宽径腔之间以实现贯通，所述第一过渡腔的内径沿进气口至出气口的方向逐渐增大以对流经所述喷嘴的气体进行整束并使其减速。

2.如权利要求1所述的马兰戈尼干燥装置，其特征在于，所述宽径腔为圆柱状，宽径腔的内侧壁与喷嘴中轴线平行。

3.如权利要求1所述的马兰戈尼干燥装置，其特征在于，所述第一过渡腔为截锥状，第一过渡腔的轴与喷嘴中轴线重合，第一过渡腔的母线与喷嘴中轴线之间的夹角为10°至80°。

4.如权利要求1所述的马兰戈尼干燥装置，其特征在于，所述第一过渡腔包括至少两个阶梯段，其中，相邻的两个阶梯段的内侧壁与喷嘴中轴线的夹角不相同。

5.如权利要求1所述的马兰戈尼干燥装置，其特征在于，所述第一过渡腔的剖面线的起始点与终点之间的连线与喷嘴中轴线之间的夹角为10°至80°，其中，所述剖面线为利用所述喷嘴中轴线所在剖面对喷嘴进行剖切后所述第一过渡腔的内侧壁与该剖面的相交线。

6.如权利要求1-5中任一项所述的马兰戈尼干燥装置，其特征在于，所述腔室还包括进气腔和第二过渡腔，所述进气腔和第二过渡腔依次连接在所述进气口和窄径腔之间，所述进气腔的平均内径大于所述窄径腔的平均内径，所述第二过渡腔的内径沿进气口至出气口的方向逐渐减小。

7.如权利要求6所述的马兰戈尼干燥装置，其特征在于，所述第二过渡腔为截锥状，第二过渡腔的轴与喷嘴中轴线重合，第二过渡腔的母线与喷嘴中轴线之间的夹角为10°至80°。

8.如权利要求1所述的马兰戈尼干燥装置，其特征在于，所述喷嘴设置成朝所述驱动机构的转动方向回勾或前探倾斜。

9.如权利要求1所述的马兰戈尼干燥装置，其特征在于，所述喷嘴设置成与所述供给臂的轴线呈0°至85°的夹角。

10.如权利要求1所述的马兰戈尼干燥装置，其特征在于，所述喷嘴由PPS、PEEK或PVC制成，并且其内表面或外表面涂覆有疏水性涂层。