[实用新型]等离子炬旋转炬头装置有效
申请号: | 202021318016.4 | 申请日: | 2020-07-07 |
公开(公告)号: | CN212577770U | 公开(公告)日: | 2021-02-23 |
发明(设计)人: | 杨卫正 | 申请(专利权)人: | 天津市宝利欣超硬材料有限公司 |
主分类号: | B23K10/00 | 分类号: | B23K10/00 |
代理公司: | 天津企兴智财知识产权代理有限公司 12226 | 代理人: | 蒋宏洋 |
地址: | 300402 天津市北*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种等离子炬旋转炬头装置,包括引弧嘴,所述引弧嘴位于沉积室顶部上对应于通孔的位置,与所述沉积室顶部的通孔边缘处旋转连接,所述引弧嘴的中部空腔内设置有阴极,所述阴极与引弧嘴之间设有气流通道,所述气流通道内设有环形叶轮,所述叶轮固设于引弧嘴内壁。该种等离子炬旋转炬头装置,气体从气流通道穿过时,会带动叶轮旋转和引弧嘴旋转,从而使得气体形成旋转气流,扩大喷射面积;叶轮对气体起到布气的作用,使得喷出的气流更为均衡;叶轮对其上下两端的气流通道起到一定的隔离作用,可一定程度上防止电弧回缩至电极之间引发内部引燃放电。 | ||
搜索关键词: | 等离子 旋转 装置 | ||
【主权项】:
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