[实用新型]等离子炬旋转炬头装置

权利要求书

1.一种等离子炬旋转炬头装置，其特征在于，包括引弧嘴(4)，所述引弧嘴(4)位于沉积室(1)顶部上对应于通孔的位置，与所述沉积室(1)顶部的通孔边缘处旋转连接，所述引弧嘴(4)的中部空腔内设置有阴极(6)，所述阴极(6)与引弧嘴(4)之间设有气流通道，所述气流通道内设有环形叶轮(5)，所述叶轮(5)固设于引弧嘴(4)内壁。

2.根据权利要求1所述的一种等离子炬旋转炬头装置，其特征在于：所述沉积室(1)顶部的通孔边缘处向下延伸设有环形的上连接部(2)，所述引弧嘴(4)的顶部设有与上连接部(2)同轴的连接环(41)，所述上连接部(2)的下端面和连接环(41)的上端面滑动相接；

所述上连接部(2)的外周固定套设有上轴承(21)，所述上轴承(21)的外环下部设有凸起的环形上卡块(22)，所述连接环(41)的外环上部设有凸起的环形下卡块(412)，所述上卡块(22)和下卡块(412)的外周套设有定位环(8)，所述定位环(8)的两端设有卡接于上卡块(22)上端面和下卡块(412)下端面的卡位环(81)。

3.根据权利要求2所述的一种等离子炬旋转炬头装置，其特征在于：所述上连接部(2)的下端延伸设有下连接部(3)，所述下连接部(3)的外径小于所述上连接部(2)的外径，所述下连接部(3)插接于所述连接环(41)的内周，所述连接环(41)的内径小于所述引弧嘴(4)的顶部内径；

所述下连接部(3)的外周固定套设有下轴承(31)，所述下轴承(31)的外周均布有若干竖直的花键(32)，所述连接环(41)内侧环壁上开设有与所述花键(32)相匹配的键槽(411)，所述花键(32)插接于所述键槽(411)内。

4.根据权利要求3所述的一种等离子炬旋转炬头装置，其特征在于：所述下连接部(3)的下端设有若干与下连接部(3)同轴的环形上密封环(33)，所述引弧嘴(4)的上端面设有若干与引弧嘴(4)同轴的环形下密封环(42)，若干所述上密封环(33)和若干下密封环(42)之间交错咬合滑动相接。

5.根据权利要求2所述的一种等离子炬旋转炬头装置，其特征在于：所述定位环(8)包括半圆形的第一半环(801)和第二半环(802)，所述第一半环(801)和第二半环(802)的端部之间通过铰链结构转动连接，二者的自由端设有扣合结构。

6.根据权利要求5所述的一种等离子炬旋转炬头装置，其特征在于：所述扣合结构包括位于第一半环(801)自由端的外卡条(8011)和位于第二半环(802)自由端的内卡条(8021)，所述外卡条(8011)的内侧环壁上设有若干卡齿(8012)，所述内卡条(8021)的外侧环壁上设有若干卡槽(8022)，所述卡齿(8012)卡接于卡槽(8022)内。

7.根据权利要求5所述的一种等离子炬旋转炬头装置，其特征在于：所述定位环(8)和卡位环(81)的内周均设有胶垫(82)，所述胶垫(82)的厚度小于所述上卡块(22)和下卡块(412)的厚度。