[实用新型]一种连续式镀膜线用高真空抽气系统有效
| 申请号： | 202021279603.7 | 申请日： | 2020-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN213013081U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 吴煜明 | 申请（专利权）人： | 柏霆（苏州）光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空溅镀设备领域，尤其涉及一种连续式镀膜线用高真空抽气系统，按照工件加工顺序，依次包括：大气载入腔体、载入高真空过渡腔体、进件暂存腔体、溅镀处理腔体、设置在溅镀处理腔体中的制程气体出气孔、出件暂存腔体、转出高真空过渡腔体和大气转出腔体；采用本实用新型，设置有真空波纹管连接涡轮分子泵与前级共抽管路，再由前级共抽管路连接共抽系统前级泵，配合各个腔体上的密封闸门，实现了由共抽系统前级泵一拖多的排气系统；配合真空计实时监测前级共抽管路的真空压力；实现设备成本合理控制，节能高效控制各个腔体气压。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 连续 镀膜 线用高 真空 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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