[实用新型]一种连续式镀膜线用高真空抽气系统

说明书

本实用新型涉及真空溅镀设备领域，尤其涉及一种连续式镀膜线用高真空抽气系统，按照工件加工顺序，依次包括：大气载入腔体、载入高真空过渡腔体、进件暂存腔体、溅镀处理腔体、设置在溅镀处理腔体中的制程气体出气孔、出件暂存腔体、转出高真空过渡腔体和大气转出腔体；采用本实用新型，设置有真空波纹管连接涡轮分子泵与前级共抽管路，再由前级共抽管路连接共抽系统前级泵，配合各个腔体上的密封闸门，实现了由共抽系统前级泵一拖多的排气系统；配合真空计实时监测前级共抽管路的真空压力；实现设备成本合理控制，节能高效控制各个腔体气压。

技术领域

本实用新型涉及真空溅镀设备领域，尤其涉及一种连续式镀膜线用高真空抽气系统。

背景技术

真空溅镀,是真空溅射镀膜的简称,是一种物理镀膜的方法。真空镀膜线高真空抽气泵目前主流应用于产在线的泵有油扩散式泵及涡轮分子泵二种，这二种真空泵的抽气原理完全不同。

油扩散泵由于有电能消耗大；油雾回抽等缺点，在连续式真空溅镀系统上，己慢慢改为涡轮分子泵作为高真空抽气手段。

涡轮分子泵抽气原理：利用高速旋转的叶轮，利用碰接原理将腔体中的气体分子，快速的向分子泵的排气口推进。最后利用一台真空前级泵作气体的抽除，完成真空抽气。

现有的连续式镀膜线，分子泵规划设置16套就必须有8或16套的前级泵作对应，造成很大电能消耗，以及器材与相关设备的成本浪费。

实用新型内容

本实用新型目的是在于提供一种减少设备成本，节电节能，腔体独立控制腔体抽气系统。

一种连续式镀膜线用高真空抽气系统，按照工件加工顺序，依次包括：大气载入腔体、载入高真空过渡腔体、进件暂存腔体、溅镀处理腔体、设置在溅镀处理腔体中的制程气体出气孔、出件暂存腔体、转出高真空过渡腔体和大气转出腔体；

所述大气载入腔体和大气转出腔体上均设置有大气抽气泵；所述载入高真空过渡腔体、进件暂存腔体、溅镀处理腔体、出件暂存腔体和转出高真空过渡腔体上均设置有若干涡轮分子泵，所述涡轮分子泵的排气口以若干真空波纹管将单侧分子泵并联的方式连接在前级共抽管路；前级共抽管路上设置真空计，通过真空连接管路及真空管路阀与共抽系统前级泵连接，作为一套完整的排气系统。

进一步的，所述若干涡轮分子泵分为两组，设置在腔体两侧，所述真空波纹管、前级共抽管路、真空连接管路、真空管路阀(和共抽系统前级泵也均为两组，与分为两组的涡轮分子泵。

进一步的，所述溅镀处理腔体与进件暂存腔体和出件暂存腔体的连接处设置有转接腔体。

进一步的，所述大气载入腔体上还设置有载入泄压阀。

进一步的，所述大气转出腔体上还设置有转出泄压阀。

进一步的，所述大气载入腔体、载入高真空过渡腔体、进件暂存腔体、溅镀处理腔体、出件暂存腔体、转出高真空过渡腔体和大气转出腔体上均设置有若干位置传感器。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型具体实施过程中，所述大气载入腔体、载入高真空过渡腔体、出件暂存腔体和转出高真空过渡腔体的两侧均设置有密封闸门，可分别启闭，各个腔体空间独立；大气载入腔体和大气转出腔体通过大气抽气泵进行粗真空工作，载入高真空过渡腔体和转出高真空过渡腔体均用于由粗真空到高真空的过渡工作，有助于保护最中心溅镀处理腔体的稳定，便于提前准备工艺所需的真空压力，溅镀工作在溅镀处理腔体中进行；所述涡轮分子泵用于实现高真空的抽气工作，所述真空波纹管用于连接涡轮分子泵的排气口和前级共抽管路，再由前级共抽管路连接共抽系统前级泵，实现了由共抽系统前级泵一拖多的排气系统，设置在前级共抽管路上的真空计，真空计负责监控前级共抽管路的真空压力，维持管路的真空压力值在规定范围内，当此真空计感测到管路压力有异常时，系统会自动关闭涡轮分子泵及前级泵的阀门，借以放置制程腔体受污染以及保护涡轮分子泵主体。