[实用新型]一种干膜光阻冷却系统有效
| 申请号： | 202021252240.8 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN212949625U | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 黄文军;蔡政斌;张辉;祁丹 | 申请（专利权）人： | 长兴电子（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B32B37/08 | 分类号： | B32B37/08 |
| 代理公司： | 苏州隆恒知识产权代理事务所(普通合伙) 32366 | 代理人： | 周子轶 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种干膜光阻冷却系统，包括冷却室、传送机构、风机和冷却装置。冷却室沿预设水平方向相对的两端分别设有进料口和出料口，冷却室的上端设有吹风单元，冷却室的底端设有排风单元，吹风单元靠近进料口设置，排风单元靠近出料口处设置。传送机构输入端设于进料口处，传送机构输出端沿预设水平方向向冷却室的内部延伸至出料口处。风机设于冷却室外部，风机的进风口与排风单元连通。冷却装置设于冷却室外部，冷却装置的一端与风机的出风口连通，另一端与吹风单元连通。本实用新型干膜光阻冷却系统能够有效降低干膜光阻的膜面温度，避免干膜光阻由于蓄热而产生的显影不洁等质量问题，提高干膜光阻的加工收率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干膜光阻 冷却系统 | ||
【主权项】：
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