[实用新型]一种干膜光阻冷却系统

权利要求书

1.一种干膜光阻冷却系统，其特征在于，包括：

冷却室，所述冷却室沿预设水平方向相对的两端分别设有进料口和出料口，所述冷却室的上端设有吹风单元，所述冷却室的底端设有排风单元；

传送机构，所述传送机构的输入端设于所述进料口处，所述传送机构的输出端沿所述预设水平方向向所述冷却室的内部延伸至所述出料口处，以将干膜光阻从所述进料口传递至所述出料口；

风机，所述风机设于所述冷却室的外部，所述风机的进风口与所述排风单元连通，以使所述冷却室内的气体能够进入所述风机内；以及

冷却装置，所述冷却装置设于所述冷却室的外部，所述冷却装置的一端与所述风机的出风口连通，另一端与所述吹风单元连通，以向所述冷却室内输入冷却后的气体；

其中，所述吹风单元靠近所述进料口设置，所述排风单元靠近所述出料口设置。

2.根据权利要求1所述的干膜光阻冷却系统，其特征在于，所述冷却装置为表面冷却器，所述表面冷却器包括进水口和出水口，所述进水口处安装有比例阀。

3.根据权利要求2所述的干膜光阻冷却系统，其特征在于，所述冷却室内设有温度计以监测所述冷却室内的温度，所述温度计通过控制器与所述比例阀电性连接。

4.根据权利要求1所述的干膜光阻冷却系统，其特征在于，所述排风单元包括多个排风口，多个所述排风口之间通过第一连接管连通。

5.根据权利要求4所述的干膜光阻冷却系统，其特征在于，所述风机的进风口通过第一风管与所述第一连接管连通。

6.根据权利要求1所述的干膜光阻冷却系统，其特征在于，所述吹风单元包括多个沿所述预设水平方向排布的吹风口，多个所述吹风口之间通过第二连接管连通。

7.根据权利要求6所述的干膜光阻冷却系统，其特征在于，所述冷却装置的一端通过第二风管与所述风机的出风口连通，所述冷却装置的另一端通过第三风管与所述第二连接管连通。