[实用新型]涂胶显影设备专用恒温恒湿设备空气换热结构有效
申请号: | 202021227779.8 | 申请日: | 2020-06-29 |
公开(公告)号: | CN212902811U | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 李超 | 申请(专利权)人: | 西安稳能微电子科技有限公司 |
主分类号: | F28D21/00 | 分类号: | F28D21/00;F28F27/00 |
代理公司: | 汉中市铭源专利代理事务所(普通合伙) 61235 | 代理人: | 周沛臣 |
地址: | 710000 陕西省西安市高新*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型涉及工业领域,尤其涉及涂胶显影设备专用恒温恒湿设备空气换热结构。换热结构包含蒸发器(7),蒸发器(7)连接着换热器(9),换热后的气流同时连接着供风口(1)和回流端(8),回流端(8)为单独设置的空气回洗管路,将目标控制完成温度的温湿度空气重新回流到换热器(9)入口端和进风口,进风口外部的空气通回流完成的空气相遇,从而提高进入设备内部端的空气温度,提高加热比例,更加节能。采用如上技术方案的本实用新型,相对于现有技术有如下有益效果:1.提高控制目标气体的稳定性。2.缩短控制时间。 | ||
搜索关键词: | 涂胶 显影 设备 专用 恒温 空气 结构 | ||
【主权项】:
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