[实用新型]涂胶显影设备专用恒温恒湿设备空气换热结构有效

专利信息
申请号: 202021227779.8 申请日: 2020-06-29
公开(公告)号: CN212902811U 公开(公告)日: 2021-04-06
发明(设计)人: 李超 申请(专利权)人: 西安稳能微电子科技有限公司
主分类号: F28D21/00 分类号: F28D21/00;F28F27/00
代理公司: 汉中市铭源专利代理事务所(普通合伙) 61235 代理人: 周沛臣
地址: 710000 陕西省西安市高新*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 涂胶 显影 设备 专用 恒温 空气 结构
【说明书】:

实用新型涉及工业领域,尤其涉及涂胶显影设备专用恒温恒湿设备空气换热结构。换热结构包含蒸发器(7),蒸发器(7)连接着换热器(9),换热后的气流同时连接着供风口(1)和回流端(8),回流端(8)为单独设置的空气回洗管路,将目标控制完成温度的温湿度空气重新回流到换热器(9)入口端和进风口,进风口外部的空气通回流完成的空气相遇,从而提高进入设备内部端的空气温度,提高加热比例,更加节能。采用如上技术方案的本实用新型,相对于现有技术有如下有益效果:1.提高控制目标气体的稳定性。2.缩短控制时间。

技术领域

本实用新型涉及工业领域,尤其涉及涂胶显影设备专用恒温恒湿设备空气换热结构。

背景技术

涂胶显影设备通过冷冻机原理将目标温度/湿度的空气直接传送给涂胶显影设备,在恒温恒湿设备出风口端,单独在设备出风设置管路,同设备进风口端连接,可提高进风口端的气体温湿度稳定性,从而在后期对整体气体加热时,缩短控制时间,提高目标气体的温湿度稳定性。

引入对比文件:《热交换器的改进》在1965-06-30发表于《化工技术资料(硫酸专业分册)》。

实用新型内容

实用新型的目的:为了提供一种效果更好的涂胶显影设备专用恒温恒湿设备空气换热结构,具体目的见具体实施部分的多个实质技术效果。

为了达到如上目的,本实用新型采取如下技术方案:

涂胶显影设备专用恒温恒湿设备空气换热结构,其特征在于,换热结构包含蒸发器7,蒸发器7连接着换热器9,换热后的气流同时连接着供风口1和回流端8,回流端8为单独设置的空气回洗管路,将目标控制完成温度的温湿度空气重新回流到换热器9入口端和进风口,进风口外部的空气通回流完成的空气相遇,从而提高进入设备内部端的空气温度,提高加热比例,更加节能。

本实用新型进一步技术方案在于,供风口1对着目标控制单元。

本实用新型进一步技术方案在于,回流端8上布置有电控阀门2。

本实用新型进一步技术方案在于,电控阀门2通信连接着控制器 4;控制器4通信连接着主板5;主板5通信连接着工业PC6。

采用如上技术方案的本实用新型,相对于现有技术有如下有益效果:1.提高控制目标气体的稳定性。2.缩短控制时间。

附图说明

为了进一步说明本实用新型,下面结合附图进一步进行说明:

图1为实用新型结构示意图;

其中:1.供风口;2.电控阀门;3.温度传感器;4.控制器;5. 主板;6.工业PC;7.蒸发器;8.回流端;9.换热器。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式,进一步阐明本实用新型,应理解下述具体实施方式仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

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