[实用新型]一种硅晶圆蚀刻辅助装置

摘要

本实用新型公开了一种硅晶圆蚀刻辅助装置，包括置物座、限位机构、驱动机构和清洁机构，所述置物座上半部的中心开设有置物槽，且置物槽的中心设有两组对称的限位机构，两组所述限位机构的内周之间设有放置于置物槽内周的工件，所述置物座上半部靠近置物槽的两侧均开设有驱动槽，且两组驱动槽的内周之间设有驱动机构，所述驱动机构内周与清洁机构的顶部连接，且清洁机构的外周与置物槽的内周相适配，所述置物座下半部的中心开设有回收槽，且回收槽的顶部钻设有多组与置物槽连通的通孔，回收槽的内周通过滑动轨道安装有带有把手的回收屉。该硅晶圆蚀刻辅助装置，能够根据需要进行调节，同时能够对工件进行清洁预处理。