[实用新型]一种磁控溅射保护气体的流量检测系统有效
| 申请号： | 202020992762.5 | 申请日： | 2020-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN212059220U | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 唐勇;贾祥文;韩阳;李均平;张威;何怀凤 | 申请（专利权）人： | 苏州锐世讯光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L11/00 | 分类号： | G01L11/00;G01F1/00;C23C14/54;C23C14/35 |
| 代理公司： | 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32336 | 代理人： | 赵成磊 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城区黄桥*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 为了解决如何检测真空室内的保护气体流量，从而控制真空室内的压强和大气压强保持相同的问题，本实用新型提出一种磁控溅射保护气体的流量检测系统，其特征在于：包括真空镀膜箱体6、流量控制装置1、气体管路2、压力检测装置3、检测机构4、储气罐7和控制器5，通过在真空镀膜箱体6上装有检测机构4，气体管路2上流量控制装置1，通过流量控制装置1自动的控制保护气体的进出流量，从而使得真空镀膜箱体6内的气体压力的压强和大气压强保持相同。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 保护 气体 流量 检测 系统 | ||
【主权项】：
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