[实用新型]一种磁控溅射保护气体的流量检测系统有效
| 申请号： | 202020992762.5 | 申请日： | 2020-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN212059220U | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 唐勇;贾祥文;韩阳;李均平;张威;何怀凤 | 申请（专利权）人： | 苏州锐世讯光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L11/00 | 分类号： | G01L11/00;G01F1/00;C23C14/54;C23C14/35 |
| 代理公司： | 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32336 | 代理人： | 赵成磊 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城区黄桥*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 保护 气体 流量 检测 系统 | ||
1.一种磁控溅射保护气体的流量检测系统，其特征在于：包括真空镀膜箱体(6)、流量控制装置(1)、气体管路(2)、压力检测装置(3)、检测机构(4)、储气罐(7)和控制器(5)，所述流量控制装置(1)与储气罐(7)的取气口电性连接，流量控制装置(1)位于气体管路(2)上，所述气体管路(2)的第二端与所述检测机构(4)连接，所述压力检测装置(3)设置在所述气体管路(2)上且位于真空镀膜箱体(6)内部，控制器(5)与检测机构(4)、压力检测装置(3)和流量控制装置(1)电性连接，控制器(5)与电源电性连接。
2.如权利要求1所述的磁控溅射保护气体的流量检测系统，其特征在于：检测机构(4)位于真空镀膜箱体(6)外壁上。
3.如权利要求1所述的磁控溅射保护气体的流量检测系统，其特征在于：检测机构(4)内设置有氮气传感器和氩气传感器。
4.如权利要求1所述的磁控溅射保护气体的流量检测系统，其特征在于：控制器(5)内设置有气体压力阀值，压力检测装置(3)用于测试真空镀膜箱体(6)内的气体压力值并将此时的气体压力信息传递至所述控制器(5)，当气体压力低于气体压力阀值时，控制器(5)将信号传送给流量控制装置(1)并打开储气罐(7)进行输气，当气体压力高于气体压力阀值时，控制器(5)将信号传送给流量控制装置(1)并关闭储气罐(7)。
5.如权利要求1所述的磁控溅射保护气体的流量检测系统，其特征在于：压力检测装置(3)为压力传感器。
6.如权利要求1所述的磁控溅射保护气体的流量检测系统，其特征在于：流量控制装置(1)为流量控制阀。
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