[实用新型]一种用于单片晶圆清洗的喷淋罩

摘要

本实用新型公开了一种用于单片晶圆清洗的喷淋罩，包括圆形顶板，圆形顶板外圈向下延伸有环形外罩，圆形顶板的圆心与外圈连线的中点处连接有雾状喷嘴，雾状喷嘴有4个且呈环形均匀分布，圆心顶板的圆心与雾状喷嘴之间设有第一直流喷嘴，第一直流喷嘴倾斜设置且其柱状水流经过下方的晶圆的圆心，环形外罩内侧均匀设有多个第二直流喷嘴，第二直流喷嘴内喷出的柱状水流经过晶圆的外侧边，圆形顶板上表面的圆心处与电机的输出轴连接，电机的底部通过固定板与升降气缸的输出轴连接。增加了第一直流喷嘴，倾斜冲洗圆心处，不会造成去离子水堆积，采用多个喷嘴统一布置在喷淋罩上，维护简便。