[实用新型]一种化学气相沉积炉

摘要

本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积炉，解决现有技术中存在的缺点，包括炉体，所述炉体的顶部通过螺丝固定连接有原料仓，炉体的底部设有成品出料口，且炉体的两侧分别开设有输气口和排气口，所述输气口通过法兰盘固定连接有输气管道，所述输气管道的另一端固定连接有气体混合器，所述气体混合器上分别设有第一进气口和第二进气口，在原料进入炉体内部反应时，利用电机来驱动滑台滑动，同时利用丝杠的反向作用原理使转动块在炉体内往复移动的同时转动，以此来实现对物料来回搅拌的效果，使材料与气体充分接触，使得材料获得均匀的碳包覆，进而提升沉积效果并提高生产效率。