[实用新型]一种化学气相沉积炉

说明书

本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积炉，解决现有技术中存在的缺点，包括炉体，所述炉体的顶部通过螺丝固定连接有原料仓，炉体的底部设有成品出料口，且炉体的两侧分别开设有输气口和排气口，所述输气口通过法兰盘固定连接有输气管道，所述输气管道的另一端固定连接有气体混合器，所述气体混合器上分别设有第一进气口和第二进气口，在原料进入炉体内部反应时，利用电机来驱动滑台滑动，同时利用丝杠的反向作用原理使转动块在炉体内往复移动的同时转动，以此来实现对物料来回搅拌的效果，使材料与气体充分接触，使得材料获得均匀的碳包覆，进而提升沉积效果并提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积炉。

背景技术

化学气相沉积法是制备碳包覆复合材料的主要方法之一，它是通过将烃类等碳源气体通入沉积炉内，在高温下碳源气体发生热解，产生的热解碳在待包覆材料表面沉积，最终在待包覆材料表面形成包覆层，从而得到碳包覆复合材料，具有工艺简单、适用于规模化生产等特点。

现有技术中化学气相沉积炉，需沉积的原料通常为静态的，由于碳源气体在炉内压差分布不均匀，使得碳源气体在表层原料和内部原料上沉积的浓度有差异，从而导致包覆不均匀，沉积效果较差。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在沉积效果差的缺点，而提出的一种化学气相沉积炉。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种化学气相沉积炉，包括炉体，所述炉体的顶部通过螺丝固定连接有原料仓，炉体的底部设有成品出料口，且炉体的两侧分别开设有输气口和排气口，所述输气口通过法兰盘固定连接有输气管道，所述输气管道的另一端固定连接有气体混合器，所述气体混合器上分别设有第一进气口和第二进气口，所述排气口通过法兰盘固定连接有排气管；

所述炉体的内部转动安装有第一丝杠，且炉体的内部还通过螺栓固定有对称布置的第二丝杠，所述第一丝杠的外部滑动设置有滑台，所述滑台的四周均通过螺丝固定有连接板，所述连接板的内部转动设置有转动块，所述转动块滑动设置在所述第二丝杠的外部，且转动块的两侧均焊接有搅拌杆。

优选的，所述炉体的内部分别安装有第一轴承和第二轴承，所述第一丝杠的两端分别套设在所述第一轴承和第二轴承的内部。

优选的，所述滑台的内部开设有第一安装孔，第一安装孔的内部通过沉头螺栓固定有第一滚珠螺母，所述第一滚珠螺母装配在所述第一丝杠的外部。

优选的，所述炉体的内壁通过铆钉固定有导轨，所述滑台的一侧通过螺丝连接有滑块，所述滑块与导轨滑动连接。

优选的，所述连接板的内部开设有圆孔，所述转动块嵌入在所述圆孔的内部，且转动块的内部开设有第二安装孔，第二安装孔的内部通过沉头螺栓固定有第二滚珠螺母，所述第二滚珠螺母装配在所述第二丝杠的外部。

本实用新型的有益效果是：与现有技术相比较，本实用新型结构简单、设计合理，通过第一丝杠、第二丝杠、伺服电机、滑台、连接板、转动块以及搅拌杆等结构的设置，在原料进入炉体内部反应时，利用电机来驱动滑台滑动，同时利用丝杠的反向作用原理使转动块在炉体内往复移动的同时转动，以此来实现对物料来回搅拌的效果，使材料与气体充分接触，使得材料获得均匀的碳包覆，进而提升沉积效果并提高生产效率。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种化学气相沉积炉的主视图；

图2为本实用新型提出的滑台和转动块的俯视图；

图3为本实用新型提出的滑台和转动块的结构示意图。