[实用新型]一种薄膜晶体管结构有效
申请号: | 202020774878.1 | 申请日: | 2020-05-12 |
公开(公告)号: | CN212230436U | 公开(公告)日: | 2020-12-25 |
发明(设计)人: | 陈宇怀;黄志杰 | 申请(专利权)人: | 福建华佳彩有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L21/336;H01L21/34;H01L51/05;H01L51/40 |
代理公司: | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人: | 徐剑兵;林祥翔 |
地址: | 351100 福*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种薄膜晶体管结构,包括基板和所述基板上的第一金属层、有源层、第二金属层;所述有源层包括:侧壁有源层,所述第一金属层为柱形结构,第一金属层的底面与基板上表面平行,所述侧壁有源层环绕所述第一金属层的侧面,所述侧壁有源层的侧面与第一金属层的侧面之间形成有源层电通道,且通道内还设有绝缘层;侧壁有源层的顶部两端分别连接有一第二金属层。有效利用第一金属层侧表面与有源层形成有源层导电通道,提高TFT器件反应速率与开态电流,有利于在超高分辨率面板中的应用。并且提供的TFT结构,在器件受到拉伸以及弯折时形变量更小,且可以更好的分散形变产生的应力,使器件保持为稳定,利于未来制造可弯折或可拉伸面板。 | ||
搜索关键词: | 一种 薄膜晶体管 结构 | ||
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