[实用新型]基于气体质量流量控制技术的漏率测量设备和系统

摘要

本实用新型涉及一种基于气体质量流量控制技术的漏率测量设备和系统，将检测到的第一压力值和用户预先输入的第二压力值输入PID控制组件，PID控制组件输出PID流量值。进而，可以确定量程与PID流量值匹配的目标气体质量流量控制器，PID控制组件再根据PID流量值动态调整该目标气体质量流量控制器的开度即可。当达到最小稳定时间后，人机交互组件即可输出此时的PID流量值作为被测系统的漏率。采用本实用新型的技术方案，不需要抽真空，根据被测系统的压力选择量程匹配的气体质量流量控制器，并且基于PID控制组件进行动态调节，能够对柔性材质系统或低耐压性低系统的漏率进行快速检测，充分满足量产的时效性。