[实用新型]基于气体质量流量控制技术的漏率测量设备和系统

权利要求书

1.一种基于气体质量流量控制技术的漏率测量设备，其特征在于，包括机柜外壳、压力监测组件和分别设置在所述机柜外壳内的PID控制组件、人机交互组件、若干个量程递增的气体质量流量控制器；

所述气体质量流量控制器的进气端用于通过第一管路与气源相连，所述气体质量流量控制器的出气端用于通过第二管路与被测系统相连，所述气体质量流量控制器用于控制所述被测系统的充气流量；

所述压力监测组件设置在所述被测系统处，所述压力监测组件用于监测所述被测系统内的第一压力值；

所述PID控制组件分别与所述压力监测组件和所述气体质量流量控制器电性相连；

所述PID控制组件用于根据所述第一压力值和检测人员预先通过所述人机交互组件输入的第二压力值进行PID控制，输出PID流量值；

所述PID控制组件还用于确定量程与所述PID流量值匹配的目标气体质量流量控制器，根据所述PID流量值动态调整所述目标气体质量流量控制器的开度，直至达到预设的最小稳定时间；

所述人机交互组件用于输出所述最小稳定时间对应的PID流量值作为所述被测系统的漏率。

2.根据权利要求1所述的基于气体质量流量控制技术的漏率测量设备，其特征在于，每个所述气体质量流量控制器与所述被测系统之间均设置有截止阀；

所述截止阀与所述PID控制组件电性相连；

所述截止阀用于截止对应的所述气体质量流量控制器的气路，避免所述气体质量流量控制器处于截止状态时产生微泄露而引起误差。

3.根据权利要求1所述的基于气体质量流量控制技术的漏率测量设备，其特征在于，所述气源的出气口设置有高压手动截止阀，所述高压手动截止阀的截止控制旋钮设置在所述机柜外壳上。

4.根据权利要求1所述的基于气体质量流量控制技术的漏率测量设备，其特征在于，所述气体质量流量控制器的进气口处设置有减压阀；

所述减压阀用于降低所述气源输出气体的压力。

5.根据权利要求1所述的基于气体质量流量控制技术的漏率测量设备，其特征在于，所述人机交互组件为可触摸屏；

所述可触摸屏嵌入在所述机柜外壳的一侧。

6.根据权利要求1所述的基于气体质量流量控制技术的漏率测量设备，其特征在于，所述压力监测组件与所述PID控制组件通过数字信号交互。

7.根据权利要求1所述的基于气体质量流量控制技术的漏率测量设备，其特征在于，所述第一管路和/或所述第二管路上设置有单向阀。

8.根据权利要求1所述的基于气体质量流量控制技术的漏率测量设备，其特征在于，所述压力监测组件为高精度压力变送器。

9.根据权利要求1所述的基于气体质量流量控制技术的漏率测量设备，其特征在于，还包括提醒组件；

所述提醒组件与所述PID控制组件相连；

所述PID控制组件用于若所述漏率大于预设的标准漏率，控制所述提醒组件发出不合格提醒。

10.一种基于气体质量流量控制技术的漏率测量系统，其特征在于，包括气源和权利要求1-9任一项所述的基于气体质量流量控制技术的漏率测量设备；

所述气源与所述基于气体质量流量控制技术的漏率测量设备相连。