[实用新型]一种夹具有效
| 申请号: | 202020721935.X | 申请日: | 2020-05-06 |
| 公开(公告)号: | CN212095930U | 公开(公告)日: | 2020-12-08 |
| 发明(设计)人: | 贺云鹏;赵晟佑 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号: | B24B45/00 | 分类号: | B24B45/00;B24B37/34 |
| 代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;胡影 |
| 地址: | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | 本实用新型提供一种夹具,该夹具应用于抛光设备,抛光设备包括外周设有定位点的上抛光盘、包括下研磨盘和凸台的下抛光盘和设有定位孔的抛光垫;夹具包括夹具主体、定位结构和抛光垫固定结构;夹具主体内侧面为弧面,弧面能贴合并固定在凸台外周;定位结构包括:第一立柱和横杆,第一立柱的底端固定在夹具主体上表面上,顶端与横杆连接,横杆用于与上抛光盘定位点定位;抛光垫固定结构包括:第二立柱和连接杆,连接杆的一端固定在第一立柱上,另一端与第二立柱的底端连接,用于穿过抛光垫上的边缘定位孔。解决了抛光垫与上抛光盘对应不准确造成的抛光垫抛光效果不佳的问题。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 夹具 | ||
【主权项】:
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