[实用新型]一种夹具有效

专利信息
申请号: 202020721935.X 申请日: 2020-05-06
公开(公告)号: CN212095930U 公开(公告)日: 2020-12-08
发明(设计)人: 贺云鹏;赵晟佑 申请(专利权)人: 西安奕斯伟硅片技术有限公司
主分类号: B24B45/00 分类号: B24B45/00;B24B37/34
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 许静;胡影
地址: 710065 陕西省西安市*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 夹具
【权利要求书】:

1.一种夹具,其特征在于,应用于抛光设备,所述抛光设备包括外周设有定位点的上抛光盘、下抛光盘和设有边缘定位孔的抛光垫,所述下抛光盘包括下研磨盘和位于所述研磨盘外周的凸台;

所述夹具包括夹具主体、定位结构和抛光垫固定结构;

所述夹具主体内侧面为弧面,所述弧面能与所述凸台外周贴合并固定在所述凸台外周;

所述定位结构包括:第一立柱和横杆,所述第一立柱的底端固定在所述夹具主体上表面上,顶端与所述横杆连接,所述横杆用于与所述上抛光盘定位点定位;

所述抛光垫固定结构包括:第二立柱和连接杆,所述连接杆的一端固定在所述第一立柱上,另一端与所述第二立柱的底端连接,所述第二立柱的延伸方向与所述第一立柱的延伸方向相同,用于穿过所述抛光垫上的边缘定位孔。

2.根据权利要求1所述的夹具,其特征在于,所述第一立柱高度可调节。

3.根据权利要求2所述的夹具,其特征在于,所述第一立柱为具有内柱和外柱的双层立柱;

所述内柱表面设有刻度;

所述外柱套设在所述内柱上,沿所述内柱表面滑动。

4.根据权利要求1所述的夹具,其特征在于,所述横杆的长度可调节。

5.根据权利要求4所述的夹具,其特征在于,所述横杆为具有内杆和外杆的双层横杆;

所述外杆固定在所述第一立柱上;

所述内杆表面设有刻度,一端设在所述外杆内部,沿所述外杆延伸方向伸缩。

6.根据权利要求1所述的夹具,其特征在于,所述连接杆的长度可调节。

7.根据权利要求6所述的夹具,其特征在于,所述连接杆为具有内杆和外杆的双层连接杆;

所述内杆一端固定在所述第一立柱上,所述内杆表面设有刻度;

所述外杆套设在所述内杆上,沿所述内杆延伸方向伸缩。

8.根据权利要求1所述的夹具,其特征在于,所述连接杆为水平杆或弯折杆。

9.根据权利要求8所述的夹具,其特征在于,所述弯折杆与所述第二立柱的底端连接处设有下凹的弯折部,所述弯折部的长度小于所述凸台内周与所述下研磨盘外周间的距离。

10.根据权利要求1所述的夹具,其特征在于,所述夹具主体内侧面设有磁铁。

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