[实用新型]溅镀阴极的磁场移动机构有效
| 申请号： | 202020689901.7 | 申请日： | 2020-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN212560423U | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 游秀屏;游敬峰 | 申请（专利权）人： | 柏霆（苏州）光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及磁控溅镀设备领域，具体涉及溅镀阴极的磁场移动机构，包括：驱动电机、通过联轴器与驱动电机连接的主动偏心轴、从动偏心轴、溅镀阴极和溅镀靶材；所述溅镀阴极包括槽体、通过螺丝盖设固定在槽体上槽体上盖，以及设置在所述槽体和槽体上盖围成的内腔中的磁铁固定座、内排磁铁和外排磁铁；采用本实用新型，驱动电机作为动力，联轴器缓冲驱动电机的输出，将扭力平稳输出至主动偏心轮，配合从动偏心轮使得磁铁固定板可以在槽体和槽体上盖形成的内腔中，水平偏心运动，固定在磁铁固定板上的内排磁铁和外排磁铁的封闭磁感线范围，得到进一步扩大使靶材利用率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 阴极 磁场 移动 机构 | ||
【主权项】：
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