[实用新型]溅镀阴极的磁场移动机构

权利要求书

1.溅镀阴极的磁场移动机构，其特征在于，包括：驱动电机(1)、通过联轴器(2)与驱动电机(1)连接的主动偏心轴(3)、从动偏心轴(6)、溅镀阴极和溅镀靶材(13)；

所述溅镀阴极包括槽体(14)、通过螺丝(15)盖设固定在槽体(14)上槽体上盖(16)，以及设置在所述槽体(14)和槽体上盖(16)围成的内腔中的磁铁固定座(10)、内排磁铁(11)和外排磁铁(12)；

所述磁铁固定座上端设置有主动轴承座(17)和若干从动轴承座(9)；

所述槽体上盖(16)上设置有主动轴承架(4)和若干从动轴承架(7)；所述主动偏心轴(3)的一端连接联轴器(2)，另一端穿过主动轴承架(4)与主动轴承座(17)连接；所述从动偏心轴(6)穿过从动轴承架(7)与从动轴承座(9)连接。

2.根据权利要求1所述的溅镀阴极的磁场移动机构，其特征在于，所述主动轴承架(4)内嵌设有上轴承(5)，主动轴承座(17)内设置有下轴承(8)，所述主动偏心轴(3)的末端穿过上轴承(5)并设置有主动曲柄(31)，所述主动曲柄(31)通过下轴承(8)与主动轴承座(17)连接。

3.根据权利要求1所述的溅镀阴极的磁场移动机构，其特征在于，所述从动轴承架(7)内嵌设有上轴承(5)，从动轴承座(9)内设置有下轴承(8)，所述从动偏心轴(6)的一端穿过上轴承(5)并设置有从动曲柄(61)，所述从动曲柄(61)通过下轴承(8)与从动轴承座(9)连接。

4.根据权利要求1所述的溅镀阴极的磁场移动机构，其特征在于，所述内排磁铁(11)和外排磁铁(12)均粘结固定于磁铁固定座(10)下端面，所述外排磁铁(12)设置在内排磁铁(11)外围。

5.根据权利要求1所述的溅镀阴极的磁场移动机构，其特征在于，所述主动偏心轴(3)设置于槽体上盖(16)的中心点,偏心位置设置于磁铁固定座(10)的中心点。