[实用新型]一种压电式微镜的结构有效
| 申请号： | 202020647960.8 | 申请日： | 2020-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN212515216U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 黄向向;杨敏;道格拉斯·雷·斯巴克斯;关健;孙斯佳 | 申请（专利权）人： | 罕王微电子（辽宁）有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 113000 辽宁省抚顺*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种压电式微镜的结构，包括衬底晶圆，空腔，反射镜金属表面，悬臂梁结构，金属连接线，压电薄膜，盖板晶圆，键合界面，吸气剂盒；衬底晶圆作为微镜的支撑与结构层，空腔在沉积晶圆上，为凹槽结构；反射镜金属表面通过悬臂梁结构连接微镜与衬底晶圆；金属连接线为薄膜状连接线，压电薄膜与金属连接相连；键合界面是盖板晶圆与衬底晶圆键合后的键合界面，盖板晶圆与衬底晶圆通过共晶键合，微镜在空腔中，受到压电驱动而运动，吸气剂盒设置在空腔内。本实用新型的优点：加工简单，采用悬臂梁结构，悬臂梁结构上沉积压电材料和利用金属表面作为反射镜，可封装一个或多组排列的镜面，具有光学开关作用及较高的偏转角度，位移控制精确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 式微 结构 | ||
【主权项】：
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