[实用新型]一种压电式微镜的结构有效
| 申请号： | 202020647960.8 | 申请日： | 2020-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN212515216U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 黄向向;杨敏;道格拉斯·雷·斯巴克斯;关健;孙斯佳 | 申请（专利权）人： | 罕王微电子（辽宁）有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 113000 辽宁省抚顺*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 压电 式微 结构 | ||
1.一种压电式微镜的结构，其特征在于：所述的压电式微镜的结构，包括衬底晶圆(1)，空腔(2)，反射镜金属表面(3)，悬臂梁结构(4)，金属连接线(5)，压电薄膜(6)，盖板晶圆(8)，键合界面(9)，吸气剂盒(7)；
其中：衬底晶圆(1)作为微镜的支撑与结构层，空腔(2)在衬底晶圆(1)上，为凹槽结构，在晶圆键合后形成空腔(2)；反射镜金属表面(3)是布置在微镜表面发金属反射镜面，通过一条或多条悬臂梁结构(4)连接微镜与衬底晶圆(1)；金属连接线(5)为薄膜状连接线，压电薄膜(6)在悬臂梁结构(4)上，压电薄膜(6)与金属连接线(5)相连；盖板晶圆(8)由玻璃晶圆构成，玻璃晶圆上带有空腔；键合界面(9)是盖板晶圆(8)与衬底晶圆(1)键合后的键合界面，盖板晶圆(8)与衬底晶圆(1)通过共晶键合，阳极键合、玻璃浆料键合、焊料键合技术键合成一个整体，形成空腔(2)，微镜在空腔(2)中，受到压电驱动而运动，吸气剂盒(7)设置在空腔(2)内。
2.按照权利要求1所述的压电式微镜的结构，其特征在于：所述的悬臂梁结构(4)为1～10条。
3.按照权利要求1所述的压电式微镜的结构，其特征在于：所述的盖板晶圆(8)与衬底晶圆(1)整体为圆柱状或长方体结构件。
4.按照权利要求1所述的压电式微镜的结构，其特征在于：所述的反射镜金属表面(3)为圆形件。
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