[实用新型]一种金属层尖端楔形化的柱型等离激元纳米聚焦探针

摘要

本实用新型揭示了一种金属层尖端楔形化的柱型等离激元纳米聚焦探针，该探针结构为柱对称结构，由内向外依次包括Si介质光纤、SiO2等厚介质膜及贵金属膜，三者末端均为半球状，其中Si介质光纤和SiO2等厚介质膜末端共球心，贵金属膜末端球心在Si介质光纤和SiO2等厚介质膜球心之下h处，贵金属膜厚度沿SiO2等厚介质膜表面向探针尖端逐渐减小至贵金属膜的最薄厚度tm。该探针突破了衍射极限，实现了纳米尺寸的高强度光学聚焦，最大限度减小了外界环境和污染对纳米聚焦特性的影响，且简易结构与强机械硬度易于生产制造及使用，在近场光学成像，纳米光学传感，增强等离激元与物质相互作用等诸多方面有着广泛的应用前景。